دستگاه لایه نشانی بخار فیزیکی
(Physical Vapor Deposition )
• مدل : E 306 ساخت : Edwards Holland
فرآیند لایه نشانی بخار فیزیکی (PVD) ، برای رسوب دادن بخار فلزات توسط انتقال در خلاء و بدون انجام واکنش شیمیایی و تولید لایه های نازک مورد استفاده قرار می گیرد . لایه های نازک دارای خواصی ویژه هستند که با خواص مواد مربوطه آنها در حالت حجمی به میزان قابل ملاحظه ای متفاوت است . این تفاوت به واسطه ابعاد فیزیکی ، شکل هندسی و ریزساختار آنها به وجود می آید . سایر کاربرد های این دستگاه به شرح زیر می باشد :
• تولید لایه های نازک از فلزات خالص ، آلیاژها ، ترکیبات و سرامیکها بر روی تقریبا انواع مختلف زیر لایه ها (درمقیاس آنگستروم )
• تولید لایه های نازک از کربن بر روی تقریبا انواع مختلف زیر لایه ها
• ساخت آیینه هایی با انعکاس بالا جهت استفاده از دستگاه ها و قطعات اپتیکی از جمله انواع میکروسکوپ و تلسکوپ تا اندازه 28cm
• ساخت انواع فیلتر های اپتیکی از جمله لایه های ضد بازتاب ، بازتابنده دی الکتریک ، آیینه های سرد ، آیینه های حرارتی و … .
• سرعت تشکیل پوشش در این روش تا 10nm در هر ثانیه می رسد
• دامنه کاربرد این روش در تمام زمینه های صنعتی و تکنولوژی برای ایجاد خواص سطحی مانند خواص الکتریکی، نوری، مکانیکی و شیمیایی است .
